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微波等离子体发生器原理
1 微波源 2 环形器 3 自动阻抗调节器 4波导 5 等离子喷管 6 短路活塞
微波等离子体炬的原理是将微波能量通过匹配调节器，聚集在等离子喷管处，激发并维持等离子体
传统微波等离子发生器的框图如上，在实际应用中，微波等离子体激励装置存在以下应用难点
1、系统复杂，装置体积较大
2、微波激励等离子放电难度较大，难以实现自激励点火
3、微波等离子的维持对于阻抗及其敏感，等离子体处理过程中，需要实时调节阻抗，来实现对于等离子 体炬的工作维持.
降低系统复杂度，提高微波等离子体的激励与维持稳定性，是微波等离子体应用的关键
常压氮气微波低温等离子炬 应用, 性能和指标
主要应用及其优势
主要应用：在线等离子处理，材料表面改性及活化
差异化优势：
超低温常压等离子方案
定点饱和测温最低可达400C（同样的测试方法市面上标称700C-900C的常压中频等离子实测为
2500C-3000C）
等离子射流温度低于市场上大多数的常压氩气等离子
优越及稳定的处理效果
最低使用成本的超低温常压等离子方案
长射流，高通过性
真正的电中性、无电损伤的等离子方案
材料适应面广，适合多种材料的常压等离子表面处理
处理效果维持时间长，接近射频真空方案
性能与指标– 200W, 氮气微波等离子炬
等离子体最低温度: 40 Deg.C
等离子体射流长度：25~35mm
等离子处理范围: 直径 10~25mm
工作功率范围：10~180W （推荐40~120W）
气体流量: 10~35 slm (推荐20~30slm)
微波炬及射流形态
微波源机箱外形
