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| Plasma表面处理装置（电浆机）主要技术参数 | |||
| 整机外形尺寸 | 标准：900mm宽×1000mm深×1800mm高 (依据客户要求定制化） | ||
| 腔体内尺寸 | 标准：450mm宽*450mm深*400mm高 (依据客户要求定制化） | ||
| 载物层数 | 6层 | ||
| plasma发生系统 | 等离子体发生源 | ||
| 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制 | ||
| 进气系统 | 2路进气、1路放空 | ||
| Plasma表面处理装置（电浆机）的主要配置元件 | |||
| 系统组成 | 组件明细 | ||
| 真空系统 | 真空腔 | 特种专用铝合金材料 | |
| 真空计 | 高精密真空计，高低压力报警 | ||
| 真空泵 | 油泵/干泵（可?。?/td> | ||
| 真空管路组件 | 全不锈钢管路+波纹管 | ||
| plasma发生系统 | plasma发生器 | 射频电源 | |
| 真空电极组件 | 内置平板式电极结构 | ||
| 电控系统 | 人机工控系统 | MCGS触摸屏,7英寸真彩色触摸式全中文界面 | |
| 自动控制?？?/td> | PLC控制?？椋―/A、A/D转换，数据安全可输入输出） | ||
| 电控集成 | 采用国内外知名品牌元器件 | ||
| 进气系统 | 气体计量系统 | 高精度质量流量控制器 | |
| 气压控制系统 | 全套电磁阀控制 | ||
| 气压监测系统 | SMC减压阀、压力报警仪表 | ||
| 进气管路组件 | Φ6 软管+不锈钢锁套管路 | ||
| 载物系统 | 托盘 | 可根据客户工艺需求，设计定制。 | |
| 其他 | 机箱 | 高质量喷漆 | |
| 组配件 | 国内外知名品牌元器件 | ||
