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项目 | 规格 |
主机尺寸 | 1955W x 1580D x 1750H mm |
真空腔体尺寸 | 1020W x 1330D x 913H mm |
电极板配置 | 16 片垂直电极板，15 个处理位置 |
有效区域 | 1100W x 615H mm |
等离子体电源 | 10kw-20kw |
电极温度 | 35~95℃，模温恒定控制，待机状态也能保持温度不变，省去预热时间 |
工艺气体控制 | 标配： |
真空检测 | 0.01Torr~760Torr |
工作气压 | 0.15~0.3Torr，控制精度 0.2mTorr |
人机界面触摸屏 | 中文界面，模拟图文显示；操作员、工程师权限分级； |
真空泵组 | 选配 |
型号指示灯 | 三色指示灯，带报警蜂鸣器 |
系统重量 | ~3.5 吨，包含主机、泵组、模温机 |
空间需求 | 4000 x 4000 x 2200(H)mm |
电源需求 | AC380V 三相五线，50Hz/100A，30kW |
压缩空气需求 | 洁净、干燥，0.5~0.8MPa |
工艺气体需求 | 0.3~0.5MPa，纯度>99.9% |
厂务冰水需求 | 20℃，20L/min （模温机采用水冷式需求冰水，风冷式无该项） |
抽风系统 | >100 立方/min （模温机采用风冷式需求热排风，水冷式无该项） |
废气管道 | >3 立方/min，中央废气系统，DN50 |
环境温湿度 | 20~30℃，30%~70%RH |
